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2023-06-20 来源:杭州驰飞 浏览数:78

感光材料是指一种具有光敏特性的半导体材料,因此又称之为光导材料或是光敏半导体。它的特点就是在无光的状态下呈绝缘性,在有光的状态下呈导电性。本文介绍的感光材料是光刻胶感光。

 感光材料是指一种具有光敏特性的半导体材料,因此又称之为光导材料或是光敏半导体。它的特点就是在无光的状态下呈绝缘性,在有光的状态下呈导电性。本文介绍的感光材料是光刻胶感光。
 
光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括:光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景,这里的待加工基片可以是集成电路材料,显示面板材料或者印刷电路板。
 
超声波喷涂系统已被证明可用于需要均匀,可重复的感光材料(光刻胶或聚酰亚胺薄膜)涂层的各种应用。厚度控制范围从亚微米到100微米以上,并且能够涂覆任何形状或尺寸。
 
高均匀性和均一性
 
微流喷涂,多种液体进料方案
 
高液体利用率

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